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精加工在工作的過程中主要是依靠精度高、剛性好的機床和精細刃磨的刀具用很高或極低的切削速度、很小的切深和進給量在工件表面切去極薄一層金屬的過程，顯然，這個過程能顯著提高零件的加工精度。由于切削過程殘留面積小，較大限度地排除了切削力、切削熱和振動等的不利影響，因此能有效地去除上道工序留下的表面變質層，加工后表面基本上不帶有殘余拉應力，粗糙度也大大減小，極大地提高了加工表面質量。

高光潔高精度磨削同樣要求機床有很高的精度和剛性，磨削過程是用經精細修整的砂輪，使每個磨粒上產生多個等高的微切削刃，以很小的磨削深度，在適當的磨削壓力下，從工件表面切下很微細的切屑加上微切削刃呈微飩狀態時的滑擦，擠壓、撫平作用和多次無進給光磨階段的摩擦拋光作用，從而獲得很高的加工精度和物理機械性能良好的高光潔表面。綜上所述，采用精密加工工藝可全面提高工件的加工精度和表面質量。

精加工是利用裝在振動頭上的細磨粒油石對工件進行微量切削的一種磨料精密加工方法。超精加工主要是減小Ra值，可達0.2～0.012μm ，可適當提高形狀精度。超精加工生產率很高，常用于加工曲軸、軋輥、軸承環和某些精密零件的外圓、內圓、平面、溝道表面和球面等。

精加工根據加工方法的機理和特點，超精密加工方法去除加工，結合加工和變形加工三大類。

1、去除加工。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，是傳統的機械加工方法，如車削，銑削，磨削，研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工和電解加工等，均屬這種加工方法。

2、結合加工。利用物理和化學方法，將不同的材料結合在一起。按結合的是機理，方法，強弱等，它分為附著，注入和連接三種。

3、.變形加工。又稱為流動加工，利用力，熱，分子運動等手段，是工件產生變形，改變其尺寸，形狀和性能。